备有快速ＳＷＡＰ机器手之小型基板运送系统

摘要

一种基板处理系统包含：一装载埠模组，构型为能夹持至少一供基板贮存及运送之基板盒；一基板处理舱；一可隔离转运舱，构型为能耦合该基板处理舱与该装载埠模组；及一基板运送装置，乃至少局部装设于转运舱内，且具有构型为可支撑至少一基板之臂连杆，该臂连杆经构型为可仅以一次碰触该至少一基板，而直接运送至少一基板于该至少一基板盒与该处理舱之间。