三维形状测量装置

摘要

本发明提供一种可缩短测量时间而进行三维测量的技术。光路形成部5接收来自宽频带光源1的宽频带光，使其分支入射到参考光路和测量光路，并将来自参考镜的反射光与来自被测量物的反射光进行合波后向拍摄机构10输出。另一方面，光路长度可变机构8使测量光路的光路长度发生变化。拍摄机构在相对于该光路长度的变化而产生混叠现象的时序，对来自光路形成部的输出进行拍摄，从而获取含有干涉条纹的干涉条纹资料。光路长度检测机构20从拍摄机构所获取的干涉条纹资料中将因混叠现象所产生的频率成分予以去除，而求出显示出干涉条纹的特征值的特定光路长度。