聚合物SPR芯片及其制备方法

摘要

本发明提供一种表面等离子体谐振(Surface Plasmon Resonance，SPR)芯片及制备方法，属于微机电系统技术领域，该SPR芯片包括反射棱镜、金属膜和样品流道结构，棱镜为一聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列，金属膜在所述聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列的背面，与聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列相对应的一个或多个样品流道结构也采用聚合物材料，样品流道结构与所述聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列热压键合在一起。本发明通过MEMS微加工的方法制作聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列及样品流道结构，可以实现批量化生产。本发明SPR芯片不仅成本低，而且便于携带，适用于实时检测和一次性使用。

主权项

1、一种聚合物SPR芯片，包括反射棱镜、金属膜和样品流道结构，其特征在于，反射棱镜为一聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列，金属膜在所述聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列的背面，与聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列相对应的一个或多个样品流道结构也采用聚合物材料，所述样品流道结构与所述聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列通过热压键合在一起。