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经营范围
发明名称
CLEANING FORMULATION FOR REMOVING RESIDUES ON SURFACES
摘要
申请公布号
EP2041776(A2)
申请公布日期
2009.04.01
申请号
EP20070810054
申请日期
2007.06.29
申请人
FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS USA, INC.
发明人
KNEER, EMIL
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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