非晶形氧化物与场效电晶体

摘要

在一种场效电晶体中，该场效电晶体的通道层系由非晶形氧化物组成，该非晶形氧化物包括In、Zn、N及O，该非晶形氧化物中之N对N和O的原子组成比例(N/(N+O))系等于或大于0.01原子百分比且等于或小于3原子百分比，且该非晶形氧化物不包括Ga，或，在该非晶形氧化物包括Ga的情形中，该非晶形氧化物所含的Ga原子数目系小于N原子数目。