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发明名称 Encapsulated mems band-pass filter for integrated circuits and method of fabrication thereof
摘要
申请公布号 EP1168609(B1) 申请公布日期 2009.04.01
申请号 EP20010480011 申请日期 2001.02.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHAN, KEVIN K.;SHI, LEATHEN;ZIEGLER, JAMES F.;JHANES, CHRISTOPHER;SPEIDEL, JAMES L.
分类号 H03H9/05;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;H03D7/00;H03D9/06;H03H3/007;H03H9/10;H03H9/24;H03H9/46;H04B1/26 主分类号 H03H9/05
代理机构 代理人
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