| 主权项 |
1.一台在各向异性样品上以高的水平分辨率测量临界尺寸的设 备，所说的各向异性样品表现出外形双折射，所说的设备包括以下部 分： 一台椭偏仪，用来测量椭偏参数Δ和Ψ，所说的椭偏仪将线偏振的 入射光射到样品上选定的区域以产生椭圆偏振反射光，所说的椭偏仪将 所说的线偏振入射光与所说的椭圆偏振反射光作比较，以测量所说的椭 偏参数Δ和Ψ； 转台，被置于所说的椭偏仪下方用以转动样品，以改变对转轴中心 的转角α，所说的转轴中心是与所说的椭偏仪对准的，所说的椭偏仪使 所说的椭偏参数Δ和Ψ与所说的转角α相关联，从而以高的水平分辨率 测定样品选定区域的临界尺寸； 其中所说的椭偏仪还包括以下部分： 一个光源，用来产生光； 一个偏振器，用来使所说的光偏振而成为所说的线偏振光； 一个聚焦单元，使所说的线偏振光聚焦以得到高的水平分辨率； 一个X-Y-Z台，用于改变所说的样品沿X，Y，Z方向的位置， 所说的样品置于X-Y-Z台上，所说的线偏振光被所说的样品反射 而产生所说的椭圆偏振反射光； 一台显微镜，对准所说的转台的转动中心，用以选择所说的样品 上的区域来测定其临界尺寸； 一个转动分析器用来比较所说的第一偏振态和第二偏振态，以便 根据偏振态来得到所说的椭偏参数Δ和Ψ，所说的转动分析器则将所 说的角Δ和Ψ转换成光强； 一个探测器，用以探测所说的光强，以得到椭偏参数Δ和Ψ； 一个控制单元，与所说的探测器、转动分析器、X-Y-Z台及转台 相连，使由所说的探测器测得的椭偏参数Δ和Ψ与转角α相关联以确 定样品选定区域的临界尺寸。 |
