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发明名称 Substrate transfer apparatus, substrate process system, and substrate transfer method
摘要
申请公布号 EP1860693(A3) 申请公布日期 2009.04.01
申请号 EP20070010288 申请日期 2007.05.23
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MURATA, AKIRA;ENOKIDA, SUGURU;DOUKI, YUICHI
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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