| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THIN FILM SAMPLE, AND METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THIN FILM SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1843126(A4) |
申请公布日期 |
2009.04.01 |
| 申请号 |
EP20050820171 |
申请日期 |
2005.12.22 |
| 申请人 |
SII NANOTECHNOLOGY INC. |
发明人 |
IKKU, YUTAKA;ASAHATA, TATSUYA;SUZUKI, HIDEKAZU |
| 分类号 |
G01B15/02;G01N23/20;G01N23/225;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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