| 发明名称 |
Ion sources, systems and methods |
| 摘要 |
Ion sources, systems and methods are disclosed. |
| 申请公布号 |
US7511279(B2) |
申请公布日期 |
2009.03.31 |
| 申请号 |
US20060600250 |
申请日期 |
2006.11.15 |
| 申请人 |
ALIS CORPORATION |
发明人 |
WARD BILLY W.;NOTTE, IV JOHN A.;FARKAS, III LOUIS S.;PERCIVAL RANDALL G.;HILL RAYMOND |
| 分类号 |
H01J27/26;H01J27/02;H01J49/10;H01T23/00 |
主分类号 |
H01J27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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