发明名称 FLAT END-BLOCK FOR CARRYING A ROTATABLE SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 PT1799876(E) 申请公布日期 2009.03.30
申请号 PT20050857644T 申请日期 2005.10.11
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS 发明人 KRIST DELLAERT;WILMERT DE BOSSCHER;JOANNES DE BOEVER;GREGORY LAPEIRE
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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