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发明名称 Vorrichtung zur Herstellung eines Metallfilmes
摘要
申请公布号 DE60231100(D1) 申请公布日期 2009.03.26
申请号 DE20026031100 申请日期 2002.11.05
申请人 CANON ANELVA CORP. 发明人 MATSUDA, RYUICHI;YAHATA, NAOKI;SAKAMOTO, HITOSHI
分类号 C23C16/507;H01J37/32;C23C16/06;C23C16/08;C23C16/14;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/285 主分类号 C23C16/507
代理机构 代理人
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