电泳显示装置以及其制造方法

摘要

本发明的目的在于提供具有电特性的可靠性高的薄膜晶体管、重量轻、且具有柔性的电泳显示装置。本发明的要旨在于：在栅电极上形成栅极绝缘膜，在栅极绝缘膜上形成用作沟道形成区域的微晶半导体膜，在微晶半导体膜上形成缓冲层，在缓冲层上形成一对源区域及漏区域，形成与源区域及漏区域接触的一对源电极及漏电极。该反交错型薄膜晶体管设置为被柔性衬底夹持，而在薄膜晶体管中设置有由像素电极电连接的电泳显示元件。电泳显示元件是被以覆盖像素电极的端部的方式设置的隔壁层围绕而设置在像素电极上的结构。

主权项

1. 一种电泳显示装置，包括：第一柔性衬底上的栅电极；所述栅电极上的栅极绝缘膜；所述栅极绝缘膜上的微晶半导体膜；所述微晶半导体膜上的缓冲层；所述缓冲层上的源区域及漏区域；以及所述源区域及漏区域上的源电极及漏电极；所述源电极及漏电极上的层间绝缘膜；所述层间绝缘膜上的像素电极，所述像素电极与所述源电极及漏电极中的一方电连接；所述像素电极上的电泳显示元件，所述电泳显示元件上的相对电极；以及所述相对电极上的第二柔性衬底，其中，所述电泳显示元件被以覆盖所述像素电极的端部的方式设置的隔壁层围绕。