| 发明名称 | 晶片检验设备 | ||
| 摘要 | 一种晶片检验设备，具有使存放多个晶片(10)的片盒(4)升降的升降装置(5)、使从上述片盒内供给的上述晶片在XY方向上移动的XY载物台(7)、以及对放置在该XY载物台上的上述晶片进行检验的检验头，还包括：晶片旋转载物台(22)，设置在构成上述XY载物台的上载物台上，用于保持上述晶片；以及传送臂(18)，在把上述上载物台移动到与上述片盒的开口相对置的传递位置的状态下，通过上述晶片旋转载物台的上方，并在上述片盒和上述晶片旋转载物台之间进行直线移动，把上述晶片从上述片盒内传送到上述晶片旋转载物台上。 | ||
| 申请公布号 | CN100472743C | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200310116559.2 | 申请日期 | 2003.11.20 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 秋叶彻;土坂新一 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种晶片检验设备，具有使存放多个晶片(10)的片盒(4)升降的升降装置(5)、使从上述片盒内供给的上述晶片在XY方向上移动的XY载物台(7)、以及对放置在上述XY载物台上的上述晶片进行检验的检验头，其特征在于还包括：晶片旋转载物台(22)，设置在构成上述XY载物台的上载物台上，上述晶片旋转载物台的形状为圆形，其直径大致等于或稍小于上述晶片的直径，用于保持上述晶片而进行检验；以及传送臂(18)，具有为通过上述晶片旋转载物台的上方而被形成门型的基端部、和从该基端部向水平方向突出的对上述晶片的两端进行保持的一对臂片，且该传送臂被设置成沿着被设于上述上载物台的上面的导轨而在上述片盒的开口方向可直线移动，在把上述上载物台移动到与上述片盒的开口相对置的交接位置的状态下，所述基端部通过上述晶片旋转载物台的上方，该传送臂在上述片盒和上述晶片旋转载物台之间进行直线移动，从上述片盒内接受上述晶片并传送到上述晶片旋转载物台上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||