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发明名称
Arrangement of beam shaper and beam deflector, beam deflecting method, ion implantation method, and ion implantation system
摘要
申请公布号
EP1670027(B1)
申请公布日期
2009.03.25
申请号
EP20050253337
申请日期
2005.05.31
申请人
SEN CORPORATION, AN SHI AND AXCELIS COMPANY
发明人
MATSUSHITA, HIROSHI;KABASAWA, MITSUAKI;AMANO, YOSHITAKA;KIMURA, YASUHIKO;TSUKIHARA, MITSUKUNI;MURAKAMI, JUNICHI
分类号
H01J37/147;H01J37/317
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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