发明名称 |
测量引线接合器上的无空气球的尺寸的设备 |
摘要 |
本发明公开了一种用于测量无空气球的尺寸的系统,所述系统与带有引线接合工具和电子火焰熄灭(EFO)装置的引线接合器一同使用。所述系统包括:置于第一图像平面之上的成像器,置于所述成像器之下的棱镜,以及位于第一光路中的第一图像平面和棱镜之间的之少一个透镜。所述至少一个透镜位于第二光路中的棱镜和成像器之间,所述第二光路不同于所述第一光路。经由所述棱镜和所述至少一个透镜,将置于所述引线接合工具的下部的无空气球的图像提供给成像器。 |
申请公布号 |
CN100472744C |
申请公布日期 |
2009.03.25 |
申请号 |
CN200510078686.7 |
申请日期 |
2005.06.21 |
申请人 |
库利克和索夫工业公司 |
发明人 |
戴维·T·贝特松;迪帕克·索德;诺曼·卢卡斯;王志杰 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
夏 青 |
主权项 |
1、一种用于测量无空气球的尺寸的系统,该系统与带有引线接合工具和电子火焰熄灭装置的引线接合器一同使用,所述系统包括:成像器,置于第一图像平面之上;棱镜,置于所述成像器之下;以及至少一个透镜,所述至少一个透镜位于第一光路中的所述第一图像平面和所述棱镜之间,所述至少一个透镜位于所述棱镜和所述成像器之间并处于第二光路中,所述第二光路不同于所述第一光路,其中,经由所述棱镜和所述至少一个透镜,将置于所述引线接合工具的下部的无空气球的图像提供给该成像器。 |
地址 |
美国宾夕法尼亚 |