发明名称 | 基板辨识码的制作方法 | ||
摘要 | 一种基板辨识码的制作方法,包括下列步骤:首先,提供一基板线路所需的一金属薄膜,并对该金属薄膜进行图案化工艺,以形成一线路区及一非线路区,接着于非线路区上形成一辨识码,以作为生产管理、质量控制的依据。 | ||
申请公布号 | CN101393845A | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
申请号 | CN200710151846.5 | 申请日期 | 2007.09.21 |
申请人 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 发明人 | 罗光淋;王永辉 |
分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
主权项 | 1. 一种基板辨识码的制作方法,包括:提供一基板线路所需的一金属薄膜,并对该金属薄膜进行图案化工艺,以形成一线路区及一非线路区;以及于该非线路区上形成一辨识码。 | ||
地址 | 中国台湾高雄市 |