发明名称 基板辨识码的制作方法
摘要 一种基板辨识码的制作方法,包括下列步骤:首先,提供一基板线路所需的一金属薄膜,并对该金属薄膜进行图案化工艺,以形成一线路区及一非线路区,接着于非线路区上形成一辨识码,以作为生产管理、质量控制的依据。
申请公布号 CN101393845A 申请公布日期 2009.03.25
申请号 CN200710151846.5 申请日期 2007.09.21
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 罗光淋;王永辉
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1. 一种基板辨识码的制作方法,包括:提供一基板线路所需的一金属薄膜,并对该金属薄膜进行图案化工艺,以形成一线路区及一非线路区;以及于该非线路区上形成一辨识码。
地址 中国台湾高雄市