发明名称 具有高生物降解性能和低毒性的缓蚀剂
摘要 本发明涉及式(1)的化合物的盐和式(2)的胺的用途,其中:R<sup>1</sup>是C<sub>1</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基、C<sub>2</sub>-至C<sub>30</sub>-烯基、C<sub>6</sub>-至C<sub>30</sub>-芳基或C<sub>7</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基芳基,R<sup>2</sup>是C<sub>1</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基,C<sub>2</sub>-至C<sub>30</sub>-烯基,C<sub>6</sub>-至C<sub>30</sub>-芳基或C<sub>7</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基芳基,或任选含有杂原子的具有1至30个碳原子的有机基团,以及R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>各自独立地为氢,C<sub>1</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基,C<sub>2</sub>-至C<sub>30</sub>-烯基,C<sub>6</sub>-至C<sub>30</sub>-芳基或C<sub>7</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基芳基,或任选含有杂原子的具有1至30个碳原子的有机基团,其中R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>还可以形成具有包括氮原子的5至7个环原子的环。
申请公布号 CN101395303A 申请公布日期 2009.03.25
申请号 CN200780007454.X 申请日期 2007.01.10
申请人 克拉里安特国际有限公司 发明人 D·雷恩威伯;M·福斯特尔
分类号 C23F11/16(2006.01)I;C07C323/59(2006.01)I;C09K8/54(2006.01)I 主分类号 C23F11/16(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王 健
主权项 1.式(1)的化合物的盐<img file="A200780007454C00021.GIF" wi="899" he="204" />和式(2)的胺<img file="A200780007454C00022.GIF" wi="492" he="244" />作为缓蚀剂的用途,其中R<sup>1</sup>是C<sub>1</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基、C<sub>2</sub>-至C<sub>30</sub>-烯基、C<sub>6</sub>-至C<sub>30</sub>-芳基或C<sub>7</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基芳基,R<sup>2</sup>是C<sub>1</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基,C<sub>2</sub>-至C<sub>30</sub>-烯基,C<sub>6</sub>-至C<sub>30</sub>-芳基或C<sub>7</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基芳基,或任选含有杂原子并具有1至30个碳原子的有机基团,以及R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>各自独立地为氢,C<sub>1</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基,C<sub>2</sub>-至C<sub>30</sub>-烯基,C<sub>6</sub>-至C<sub>30</sub>-芳基或C<sub>7</sub>-至C<sub>30</sub>-烷基芳基,或任选含有杂原子并具有1至30个碳原子的有机基团,其中R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>还可以形成具有包括氮原子的5至7个环原子的环。
地址 瑞士穆腾茨
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