等离子处理设备和用于对瓶进行等离子处理的方法

摘要

本发明涉及等离子处理设备和用于对瓶进行等离子处理的方法。一种等离子处理设备，其用于塑料瓶，该等离子处理设备包括配置在处理室内的真空室。本发明被设计为，在各个瓶开口被压靠阀时，阀将打开并建立瓶内部与真空室之间的连接，真空室与处理室以气密方式持续地彼此密封。因而可以更容易地引导气体并可以减少控制机构的数量。

主权项

1. 一种等离子处理设备(1)，其包括：处理室(2)，待处理的瓶(3)可以被供给到该处理室(2)；真空室(4)；阀(5)，该阀(5)被连接到所述真空室(4)，在该阀(5)的打开状态下，该阀(5)经由抽真空通道(7a、7b)将所述瓶(3)的内部(6)连接到所述真空室(4)并且以气密方式相对于所述处理室(2)密封所述瓶(3)的所述内部(6)；所述等离子处理设备(1)还包括用于工艺气体(9)的供应单元(8)；其特征在于，所述真空室(4)被配置在所述处理室(2)的内部；在所述阀(5)的关闭状态下，所述真空室(4)被以气密方式相对于所述处理室(2)密封；以及所述阀(5)实现为使得将由瓶开口(10)施加到所述阀(5)的入口区域(11)的预定压力打开所述阀(5)。