利用连续流沉积来沉积金属层的方法

摘要

本发明提供了一种利用连续流沉积工艺来沉积具有良好表面形貌的金属层的方法，该方法包括使处理室中的衬底交替暴露于金属-羰基前驱气和还原气中。在暴露于金属-羰基前驱气过程中，通过热分解在衬底上沉积薄金属层，随后使该金属层暴露于还原气中以利于从该金属层中除去反应副产物。可以重复金属-羰基前驱气和还原气暴露步骤直到形成期望厚度的金属层。金属羰基前驱体例如可以选自W(CO)₆、Ni(CO)₄、Mo(CO)₆、Co₂(CO)₈、Rh₄(CO)₁₂、Re₂(CO)₁₀、Cr(CO)₆和Ru₃(CO)₁₂。

主权项

1.一种在衬底上沉积金属层的方法，所述方法包括：将衬底提供到处理室中；进行连续的沉积循环，所述沉积循环包括：首先，在每个沉积循环中，使所述衬底暴露于金属-羰基前驱气中，以在衬底上形成厚度大于且小于或等于的金属层，其中所述衬底被维持在一个衬底温度使得所述金属-羰基前驱气热分解；其次，使所述金属层暴露于还原气中；和重复所述沉积循环直至所述金属层具有期望的厚度。