用于半导体设备测试的双通道电源测量装置

摘要

用于电子设备可靠性测试的一种双通道电源测量装置向要测试的设备提供了电压应力刺激并监控由应力模拟装置引起的该设备的退化。该双通道电源测量装置将该装置的应力部分和监控部分去耦以优化对它们各自的要求。可以在该双通道电源测量装置中引入限变器和电流箝位开关以避免开关电路中的假信号并限制或箝位进出监控电源和应力电源的电流。

主权项

1. 一种用于测试多个电子设备的双通道电源测量装置，包括：监控电源装置，用于提供可编程监控电压并包括用于测量当与要测试的电子设备相连时通过该监控电源装置的电流的装置，应力电源装置，用于提供可编程应力电压，并且包括多个缓冲器，多个开关，与所述多个缓冲器相连，用于有选择地将多个要测试的电子设备并行切换到所述应力电源装置，并依次将一个要测试的设备切换到所述监控电源装置，由此能够对所述多个要测试的电子设备施压同时在所述一个要测试的设备上进行测试测量，该多个开关包括多个切换开关和多个限变器开关，每个限变器开关与一个切换开关串联并且每个限变器开关包括两个串联的晶体管以及用于打开这些晶体管的导通偏压电路。