颗粒清除单元及具有该单元的基片传送装置

摘要

一种传送基片的装置中，分区壁以垂直方向设在所述壳体中，以将所述壳体的内部空间分为第一空间与第二空间。压力生成部件，其将所述第一空间分为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动以使所述上空间与所述下空间交替生成正压与负压。基片支撑部件，其可移动地设在所述第二空间中以支撑及传送所述基片。设在所述壳体的侧壁与分区壁的多扇门，通过所述正压与负压打开及关闭所述门以使所述颗粒经由所述第一空间从所述第二空间清除至所述外部空间。

主权项

1、一种清除颗粒的单元，所述单元包括：壳体；以垂直方向设在所述壳体中的分区壁，其将所述壳体的内部空间分为第一空间与第二空间；压力生成部件，其将所述第一空间分为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动，以使所述上空间与所述下空间交替生成正压与负压；及设在所述壳体的侧壁以及分区壁上的多扇门，通过所述正压与负压来打开及关闭所述门以使所述颗粒经由所述第一空间从所述第二空间清除至外部空间。