一种气体质量流量控制器的气体层流通道装置

摘要

本实用新型公开了一种气体质量流量控制器的气体层流通道装置，包括紧密连接的本体前段、本体中段和本体后段，所述本体前段上部设有阶梯状通孔，所述本体中段的上部设有通孔，该通孔后端设有一段螺纹，所述本体后段上部一端设有盲螺孔，上述通孔及盲螺孔紧密连接成组合式长盲螺孔，该组合式长盲螺孔内设有一锁紧螺杆，所述锁紧螺杆包括后部沉头螺帽，中部光滑柱体、前部螺杆，该锁紧螺杆能将本体前段、本体中段和本体后段紧密螺接成一体。本实用新型简化了气体层流通道的加工程序，提高了气体层流通道的加工精度，密封组合后形成稳定的气体层流通路，加工方便，操作简单，大大降低了生产成本。

主权项

1、一种气体质量流量控制器的气体层流通道装置，包括紧密连接的本体前段、本体中段和本体后段，其特征在于：所述本体前段上部设有阶梯状通孔，所述本体中段的上部设有通孔，该通孔后端设有一段螺纹，所述本体后段上部一端设有盲螺孔，上述通孔及盲螺孔紧密连接成组合式长盲螺孔，该组合式长盲螺孔内设有一锁紧螺杆，所述锁紧螺杆包括后部沉头螺帽，中部光滑柱体、前部螺杆，该锁紧螺杆能将本体前段、本体中段和本体后段紧密螺接成一体。