| 发明名称 |
Ti, Ta, Hf, Zr and related metal silicon amides for ALD/CVD of metal-silicon nitrides, oxides, oxides or oxynitrides |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1772460(B1) |
申请公布日期 |
2009.03.25 |
| 申请号 |
EP20060255104 |
申请日期 |
2006.10.03 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
NORMAN, JOHN ANTONY THOMAS;LEI, XINJIAN |
| 分类号 |
C07F9/00;C07F7/00;C07F11/00;C23C16/34 |
主分类号 |
C07F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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