| 发明名称 | 一种新型的修布砂轮装置 | ||
| 摘要 | 一种新型的修布砂轮装置，它包括：抛光陶瓷板，安装在陶瓷板上的多个砂轮，所述的砂轮的位置按硅片贴在陶瓷板上的位置布置。本实用新型的优点：砂轮在抛光盘上的运行轨迹完全模拟硅片的运行轨迹，砂轮在抛光布上的运行轨迹与硅片的运行轨迹完全重合。本实用新型不仅适用于贴布初的修整，还适用于布使用中途的修整，此装置操作方便，修整作用强，能够适应现代硅片平整度的要求。 | ||
| 申请公布号 | CN201211643Y | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200720173484.5 | 申请日期 | 2007.09.29 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 万关良;王继 |
| 分类号 | B24B53/14(2006.01)I;B24B29/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B53/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 1、一种新型的修布砂轮装置，其特征在于：它包括抛光陶瓷板，安装在陶瓷板上的多个砂轮，所述的砂轮的位置按硅片贴在陶瓷板上的位置布置。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||