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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR THIN FILM DEPOSITION USING A VACUUM ARC IN AN ENCLOSED CATHODE-ANODE ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP2038911(A2) 申请公布日期 2009.03.25
申请号 EP20070766879 申请日期 2007.07.08
申请人 RAMOT, AT TEL AVIV UNIVERSITY LTD. 发明人 BEILIS, YITZHAK I.;BOXMAN, REUVEN LEV;SHASHURIN, ALEXEY
分类号 H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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