| 发明名称 |
BEAM UNIFORMITY AND ANGULAR DISTRIBUTION MEASUREMENT SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1618587(B1) |
申请公布日期 |
2009.03.25 |
| 申请号 |
EP20040750913 |
申请日期 |
2004.04.29 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
BENVENISTE, VICTOR |
| 分类号 |
H01J37/304;H01J3/00;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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