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发明名称
摘要
申请公布号	JP4243171(B2)	申请公布日期	2009.03.25
申请号	JP20030393517	申请日期	2003.11.25
申请人		发明人
分类号	C01B13/14;H01L21/316;C01F7/30;C01F17/00;C01G3/02;C01G19/00;C01G25/02;C01G53/00;C01G55/00;C23C16/40	主分类号	C01B13/14
代理机构		代理人
主权项
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