| 发明名称 | 制造液晶显示装置的方法 | ||
| 摘要 | 制造液晶显示装置的方法。该方法包括：利用第一掩模在基板上形成栅极、选通焊盘和选通线；在包括栅极、选通线和选通焊盘的基板的上方顺次形成栅绝缘膜、有源层、欧姆接触层和导电层；通过第二掩模形成有源图案、欧姆接触图案、源极/漏极、数据线和数据焊盘；通过第三掩模在栅绝缘膜上形成像素电极，该像素电极与漏极接触；利用源极/漏极作为蚀刻掩模蚀刻该欧姆接触图案来露出该有源图案；在包括源极/漏极、数据线和数据焊盘的基板上形成钝化膜；通过第四掩模蚀刻钝化膜和/或栅绝缘膜，以形成用于露出该选通焊盘的第一接触孔和用于露出该数据焊盘的第二接触孔；以及利用第五掩模来在该基板上形成具有多个孔的公共电极。 | ||
| 申请公布号 | CN101393897A | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200810142858.6 | 申请日期 | 2008.06.30 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 朴星一;朴大林 |
| 分类号 | H01L21/84(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/84(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 辉;孙海龙 |
| 主权项 | 1、一种制造液晶显示装置的方法，该方法包括：利用第一掩模在基板上形成栅极、选通焊盘、选通线；在包括所述栅极和选通焊盘的基板的上方顺次形成栅绝缘膜、有源层、欧姆接触层和导电层；利用第二掩模形成有源图案、欧姆接触图案、源极/漏极、数据线和数据焊盘；利用第三掩模在像素区域中的所述栅绝缘膜上形成像素电极，该像素电极与所述漏极接触；使用所述源极/漏极作为蚀刻掩模，通过蚀刻所述欧姆接触图案来露出所述有源图案；在包括所述源极/漏极、数据线和数据焊盘的基板上形成钝化膜；利用第四掩模蚀刻所述钝化膜和/或栅绝缘膜，以形成用于露出所述选通焊盘的第一接触孔和用于露出所述数据焊盘的第二接触孔；以及利用第五掩模来在所述基板上形成具有多个孔的公共电极。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||