用于一个溅射靶的冷却背板和由多个背板组成的溅射靶

摘要

对于一种溅射靶系统提出权利要求，该溅射靶由多个单独地待冷却的背板(2，3，4)组成。每个背板(2，3，4，)在其背侧面上配有一个蜿蜒的槽(5)，该槽被一个封闭板封闭。该封闭板(9)环绕地与背板(2)焊接，其中同时同至少一个与框架间隔距离的板条(7)进行焊接，该板条相互分隔出两个槽部分。这样与背板(3)焊接的封闭板不仅封闭通向一个冷却通道的槽，而且也用于加固否则相对较扁平地构成的背板(2)。

主权项

1. 用于一个溅射靶的冷却背板，在该背板的正面上可安置要被溅射的材料并在其背面上存在用于冷却背板的机构，其特征在于，在背板(2，3，4)中至少一个向着背板背面敞开的槽(5)在一个冷却介质入口与一个冷却介质出口之间延伸，该槽(5)被背板(2，3，4)的一个外框架(6)包围，并且在框架(6)的内部中延伸至少一个远离框架的板条(7)，该板条相互分隔出两个槽部分，并且所述槽(5)的敞开侧面为了形成一个在横截面上封闭的冷却通道通过一个封闭板(9)封闭，该封闭板与框架(6)和板条(7)焊接。