发明名称 具有高介电常数的氧化材料薄膜的制备方法
摘要 本发明涉及一种涂敷基材的方法,根据该方法将结晶氧化物颗粒的细碎悬浮液施用于基材上,蒸发悬浮介质并烧结基材上的涂层。
申请公布号 CN100471996C 申请公布日期 2009.03.25
申请号 CN03822617.0 申请日期 2003.09.08
申请人 巴斯福股份公司 发明人 H-J·施特策尔
分类号 C23C24/10(2006.01)I;C04B35/468(2006.01)I;C04B35/01(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I;C23C18/12(2006.01)I 主分类号 C23C24/10(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 刘金辉;黄革生
主权项 1. 一种涂敷基材的方法,其中通过涂敷将氧化物颗粒的平均粒度为0.5-9.9nm的结晶氧化物颗粒的悬浮液施用于基材上,蒸发悬浮介质并烧结基材上的涂层。
地址 德国路德维希港