| 发明名称 | 溶剂的回收装置及溶剂的回收方法 | ||
| 摘要 | 提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法，即使不补充电子级的溶剂，也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中，回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置(1)，是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液(L)中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置(10)，除去包含于上述废液中的树脂成分；一第一蒸馏塔(20)，除去包含于废液(L)中的低沸点杂质；一第二蒸馏塔(30)，除去包含于废液(L)中的高沸点杂质；以及一溶剂储存槽(51)，对上述第一蒸馏塔(20)及上述第二蒸馏塔(30)中的一方或双方补充工业级溶剂(L7)。 | ||
| 申请公布号 | CN100471541C | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200510112905.9 | 申请日期 | 2005.10.14 |
| 申请人 | 日本瑞环株式会社;松下环境空调工程技术株式会社 | 发明人 | 川濑泰人;青岛芳之;山内阳一;水野直宏;小田昭昌;五十岚轨雄;增田义登 |
| 分类号 | B01D3/00(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | B01D3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 1. 一种溶剂的回收装置，是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置，除去包含于上述废液中的树脂成分；一溶剂成分精制装置，精制包含于上述废液中的溶剂成分；以及一溶剂成分补充装置，向供给至上述溶剂成分精制装置的废液中补充工业级溶剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||