| 发明名称 | 多个薄膜器件的形成 | ||
| 摘要 | 本发明的一个方面是形成多个薄膜器件的方法。此方法包括提供一个柔性衬底[401]并应用自对准压印光刻(SAIL)工艺在此柔性衬底[401]上形成多个薄膜器件[410]。 | ||
| 申请公布号 | CN100472760C | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200510009033.3 | 申请日期 | 2005.02.16 |
| 申请人 | 惠普开发有限公司 | 发明人 | P·梅;W·B·杰克逊;C·P·陶西格;A·简斯 |
| 分类号 | H01L21/84(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/84(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 肖春京;杨松龄 |
| 主权项 | 1. 一种形成多个薄膜器件的方法，包括：提供柔性衬底[401]；和利用自对准压印光刻工艺在所述柔性衬底[401]上形成多个薄膜器件[410]。 | ||
| 地址 | 美国德克萨斯州 | ||