流量传感器及其制造方法

摘要

本发明提供流量传感器及其制造方法，该传感器通过将传感器芯片和流道形成部件接合起来而构成，传感器芯片在基的上表面形成有流量检测部；流道形成部件设置在传感器芯片上，并形成有流过流量检测部的流体的流道，将透明的第一和第二流道形成部件接合起来以形成流道形成部件，第一流道形成部件构成为板状，在其上设有被测定流体的导入孔和导出孔，第二流道形成部件构成为板状，在其上设有贯通口，贯通口形成沿着流体的流动的流道，该流体沿着流量检测部流动，使导入孔和导出孔与贯通口的两端连通，将流量检测部配置在贯通口的与导入孔和导出孔对应的部分之间，形成预定截面积的流道，从而提高了传感器流道的截面积的加工精度并使流量检测精度稳定。

主权项

1. 一种流量传感器，其是将传感器芯片和流道形成部件接合起来而构成的流量传感器，其中，上述传感器芯片在绝缘膜上形成有流量检测部，上述绝缘膜在基板的上表面上以覆盖形成于该基板的上表面上的凹部的至少一部分的方式被覆而成；上述流道形成部件设置在上述传感器芯片上，在该流道形成部件上形成有流过上述流量检测部的流体的流道，其特征在于，上述流道形成部件通过将作为透明部件的第一流道形成部件、以及第二流道形成部件接合起来而构成，上述第一流道形成部件构成为板状，在该第一流道形成部件上设置有被测定流体的导入孔和导出孔，上述第二流道形成部件构成为板状，在该第二流道形成部件上设置有贯通口，该贯通口形成沿着流体的流动的流道，该流体沿着上述流量检测部流动，上述贯通口的两端分别与上述导入孔和导出孔连通，上述流量检测部配置在上述贯通口的与上述导入孔和导出孔对应的部分之间，利用上述第一和第二流道形成部件来形成预定截面积的流道。