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发明名称 Heating element
摘要
申请公布号 EP1753014(B1) 申请公布日期 2009.03.25
申请号 EP20060254131 申请日期 2006.08.07
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 KIMURA, NOBORU;KUSHIHASHI, TAKUMA
分类号 H01L21/00;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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