APPARATUS FOR ELECTRON BEAM EVAPORATION,申请号EP20070764905-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR ELECTRON BEAM EVAPORATION
摘要
申请公布号	EP2038912(A1)	申请公布日期	2009.03.25
申请号	EP20070764905	申请日期	2007.06.28
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	MATTAUSCH, GOESTA;FLASKE, HENRIK;LIEBIG, JOERN-STEFFEN;KIRCHHOFF, VOLKER;HEINSS, JENS-PETER;KLOSE, LARS
分类号	H01J37/147;H01J37/305	主分类号	H01J37/147
代理机构		代理人
主权项
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