发明名称 SYSTEM AND PROCESS FOR HIGH VOLUME DEPOSITION OF GALLIUM NITRIDE
摘要
申请公布号 EP2038456(A2) 申请公布日期 2009.03.25
申请号 EP20070812070 申请日期 2007.06.08
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 ARENA, CHANTAL;WERKHOVEN, CHRISTIAAN;STEIDL, THOMAS, ANDREW;BIRTCHER, CHARLES, MICHAEL;CLARK, ROBERT, DANIEL
分类号 C30B29/40;C30B25/02;C30B25/16 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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