镀膜系统及其隔离装置

摘要

一种镀膜系统，用以对于一物件进行镀膜。镀膜系统包括一工作站与一隔离装置。物件系设置于工作站。隔离装置系用以对于物件进行隔离。隔离装置包括一本体、一第一工作流体、一第二工作流体、一第一导引部与一第二导引部。本体系用以产生一第一能量。第一导引部系用以导引第一工作流体通过本体而形成一第一工作区，并且于第一工作区对于物件进行涂覆。第二导引部系用以导引第二工作流体通过本体，于第二工作流体受到本体所产生之第一能量之激发而形成一第二工作区，利用第二工作区对于第一工作区与物件进行隔离。