| 摘要 |
于进行半导体元件11之观察之情形时，首先当侦测出固浸透镜6已接触于半导体元件11时，藉由振动产生部而使固浸透镜6振动。继而，输入来自固浸透镜6之反射光像，计算出反射光像之反射光量m，并判断该反射光量m相对于入射光量n之比率(m/n)是否超过临限值A。当比率(m/n)超过临限值A时，判断为尚未获得固浸透镜6与半导体元件11之光学密着，并再次使固浸透镜6振动。当比率(m/n)超过临限值A时，判断为已获得固浸透镜6与半导体元件11之光学密着，获取半导体元件11之观察图像。藉此实现可提高固浸透镜与观察对象物之密着性之观察装置及方法。 |
