坩埚加热装置及含此装置之沈积装置

摘要

一种坩埚加热装置及包括此装置之沈积装置。该坩埚加热装置包含：包括用以容纳沈积材料之主体的坩埚，及设置于该主体上的盖，且具有一喷嘴；藉由接触部分耦接于该坩埚的箍带；耦接于该箍带的热电偶；容纳该坩埚和该箍带的壳体；及设置在该壳体内用以加热该沈积材料的加热器。