摘要 |
本发明揭示一种蒸镀控制单元。该蒸镀控制单元包括:一蒸镀侦测感应器,其系用于侦测复数个彼此分开之蒸镀源的蒸镀量,每一个蒸镀源容纳及蒸发蒸镀材料;一蒸镀感应器驱动单元,其用于移动该蒸镀侦测感应器至该蒸镀侦测感应器可侦测到每一蒸镀源之蒸镀量的各个位置;一电源供应器,其提供电流给该蒸镀源以加热该蒸镀源,从而蒸发蒸镀源中容纳之蒸镀材料;以及一控制器,用于控制该电源供应器以加热每一个蒸镀源至预设参考温度,根据每一次该蒸镀侦测感应器侦测蒸镀源所得到之蒸镀量设定每一蒸镀源之参考温度,并控制该蒸镀感应器驱动单元移动该蒸镀侦测感应器至该蒸镀侦测感应器可侦测到每一蒸镀源之蒸镀量的各个位置。因此,可简化该蒸镀装置之结构,并可降低其成本。 |