微机械感测装置

摘要

本发明提出一种微机械感测装置，包含有一质量块，可相对于一基板运动。质量块则包含一第一部份、一第二部分与一第三部分，其中第二部分系与第一部份分离，第三部分则连接第一部份与第二部分。一框体设置于基板上，并围绕质量块。复数个弹簧连接质量块与框体，复数个第一与第二电极从框体延伸出。复数个第三电极从质量块的第一部份延伸出，并分别插入相邻的第一电极之间，而复数个第四电极从质量块的第二部份延伸出，并分别插入相邻的第二电极之间。一第一支撑梁从框体延伸出，并伸入至质量块的第一部份与第二部分之间的区域内。复数个第七与第八电极从第一支撑梁延伸出。复数个第五电极从质量块的第一部份延伸出，并分别插入相邻的第七电极之间，而复数个第六电极从质量块的第二部份延伸出，并分别插入相邻的第八电极之间。