高温机械手臂之末端效应器

摘要

本发明提供一种适于在处理系统中传送基板的机械手臂末端效应器或叶片。在一些实施方式中，末端效应器可包括具有安装端和远心端的主体，该主体由单一块的陶瓷制成。该主体可包括一对弓形唇，其从主体的上表面向上延伸。每个唇设置在各自指部上，所述指部设置在主体远心端处。弓形内壁从主体之安装端处的上表面向上延伸。内壁和唇限定一基板容纳袋。多个接触垫从主体的上表面向上延伸，用于支撑在其上的基板。一凹槽形成于主体的底表面中，以容纳安装夹具。