| 摘要 |
本发明揭露一种供一微型感测器用之封装结构。该微型感测器包含用以捕捉一化学物质之一微悬臂梁。根据本发明之封装结构包含一第一基板、一第二基板以及一壳体。该微型感测器系接合于该第一基板上并且电连接至该处理电路。该处理电路能够输出与被该微型感测器感测之该化学物质相关之一信号。该第二基板具有一穿透的孔洞。该第二基板系接合于该第一基板之该第一上表面上，致使该微型感测器系设置于该穿透的孔洞中。该壳体系接合于该第二基板上并且包含一反应腔。该微型感测器系安置于该反应腔内，并且包含该化学物质之一流体流进该反应腔中。 |
