发明名称 |
相变化记忆体元件及其制造方法 |
摘要 |
一种相变化记忆体元件。一第二导电间隙壁位于一第一导电间隙壁下方。一相变化层,包括一第一部份和一第二部份,其中第一部份大体上平行第一和第二导电间隙壁。第二部份系位于第二导电间隙壁上,其中第二导电间隙壁经由相变化层之第二部份,电性连接第一导电间隙壁。 |
申请公布号 |
TW200913252 |
申请公布日期 |
2009.03.16 |
申请号 |
TW097114210 |
申请日期 |
2008.04.18 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 |
发明人 |
陈达 |
分类号 |
H01L27/24(2006.01);H01L21/8239(2006.01);H01L45/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/24(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文;颜锦顺 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 |