| 发明名称 | 处理装置 | ||
| 摘要 | 藉由浮起用电磁铁组件（F）之磁性吸力，使支撑被处体体（W）之旋转浮起体（30）浮起，并边藉由位置用电磁铁组件（H）之磁性吸力控制旋转浮起体（30）之水平方向位置，边界由旋转电磁铁组件（R）之磁性吸力使旋转浮起体（30）旋转。浮起用电磁铁组件（F）是以将磁性吸力朝垂直方向下方作用而以非接触悬挂保持于处理容器（2）内壁之方式，使旋转浮起体（30）浮起。 | ||
| 申请公布号 | TW200913123 | 申请公布日期 | 2009.03.16 |
| 申请号 | TW097120746 | 申请日期 | 2008.06.04 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 野村正道;小泉建次郎;河西繁 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本 | ||