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发明名称
制造玻璃为主基板之方法及其装置
摘要
本发明提供玻璃或玻璃陶瓷基板的方法和设备,其包含:一层本体层;一层加强正离子浓度层;和一层减少正离子浓度层,其中由于迁移的结果加强正离子浓度层包含实质所有来自减少正离子浓度层的改良剂正离子,基板并不包括其任何进一步材料。
申请公布号
TW200913133
申请公布日期
2009.03.16
申请号
TW097114400
申请日期
2008.04.18
申请人
康宁公司
发明人
卡夏普鲁葛喀
分类号
H01L21/762(2006.01)
主分类号
H01L21/762(2006.01)
代理机构
代理人
吴洛杰
主权项
地址
美国
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