平面环绕闸极场效电晶体及其制造方法

摘要

一种平面环绕闸极场效电晶体及其制造方法，包括藉由氢　烧、高真空　烧或在惰性气体下的高温　烧，形成悬挂于源极与汲极之间的圆柱型奈米线，以及形成一闸极环绕该圆柱型奈米线。