基板洗净方法及基板洗净装置

摘要

本发明提供一种基板洗净方法，系在不损伤基板上的微细图案下达效率高的基板洗净。本发明的基板洗净方法，系采用包括有：以单片或复数片基板(6)为1批次，并将1批次基板(6)浸渍于湿式蚀刻液中的步骤；施行超音波洗净的步骤；以及施行乾燥的步骤；如此的批次式浸渍处理方式之基板(6)洗净方法；施行超音波洗净的步骤中，使用大气压下的溶存气体饱和度为60%~100%的洗净水，超音波频率达500kHz以上，超音波输出为0.02W/cm#sP!2#eP!~0.5W/cm#sP!2#eP!。