藉由压印在非平坦基材上沈积薄层之系统及方法

摘要

本发明系关于一种用于在一非平坦基材上沈积材料的弹性压印模。使用一真空模具以使该弹性压印模变形，且施加压力以使材料从该压印模转移至该基材。藉由减小该真空模具所施加的真空，可使用该压印模之弹性于施加此压力。压力亦可藉由对该基材及/或该压印模施加一力而被施加。使用一弹性压印模可在一非平坦基材上沈积图案化层，且可减小损坏该图案化层的机率。